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作家 | 乔钰杰

剪辑 | 袁斯来

硬氪获悉，近日，专攻原子力显微镜（AFM）探针研发的探真纳米科技（衢州）有限公司完成新一轮股权融资，获取衢州绿石新材料股权投资合资企业（有限合资）与杭州德甫股权投资有限职守公司所有超千万元的投资。咱们纪念了本轮融资信息和该公司几大亮点：

融资金额及投资机构

融资轮次：Pre-A / A 轮

融资规模：千万元

基金用途：将要点优化探针的批量化制备工艺，普及家具褂讪性和良率。此外还将用于原子力显微镜（AFM）探针的全品类研发与新产线的移交。

公司基本信息

成随即间：2016年

注册地址：浙江省衢州市

技艺亮点：探真纳米科技凭借其在微纳加工领域多年的技艺与工艺蓄积，通过基于干法刻蚀的编削微纳加工工艺，完了了从晶圆起步的探针开发，在探针的曲率半径、深宽比和使用寿命等要津目的上已部分处于海外卓绝水平。本年齿首，公司自主研发的AFM探针家具已完了上市销售。

小球探针（图源/企业）

市集空间

原子力显微镜（AFM）是纳米科技、材料科学，半导体工业以及人命科学等诸多领域不行或缺的高精度检测仪器，在半导体制造中，AFM承担着“质地把关”的脚色，通过纳米级别的探针对芯片进行精密扫描，判断工艺是否达标。AFM探针动作原子力显微镜的中枢浮滥部件，使用频率高且复购属性强，但长期以来依赖入口，价钱腾贵且供应受限，在科研和产业欺诈中缓缓成为资本与供应链风险的开始。

TZ Edge系列角落探针（图源/企业）

在半导体国产化和科研仪器自主可控配景下，AFM探针这一小体量、高附加值、高复购率的细分市集，正裸浮现明确的国产替代空间，其国产化程度还将带动联系配套产业链的发展。

团队配景

公司首创东谈主崔波教学，本科毕业于北京大学物理系，博士毕业于普林斯顿大学电子工程系，曾在加拿大滑铁卢大学担任教学多年，从事微纳加工领域究诘近三十年的时期，近十余年抓续专注于AFM探针的研发与产业化责任。2024年，崔波教学加入宁波东方理工大学，其课题组与公司在技艺方朝上保抓深度协同，除了形态检测探针以外，围绕导电探针、快速定位探针、金刚石探针、球形探针以及磁性探针等各式AFM探针抓续进行技艺攻关。

首创东谈主问答

硬氪：现时国内AFM 探针行业举座处于什么阶段？您基于若何的产业环境决定归国创业？

崔波：现时国产原子力显微镜探针市集99%齐是依赖入口的。国内有一些公司作念矫正型的探针，比如在通用探针基础上加多功能，但从晶圆启动作念探针的只消咱们在作念。

接管归国创业，一方面是国内举座创业氛围更为活跃，另一方面在融资、策略解救以及产业配套方面条目愈加锻练。以金刚石探针为例，国内不错找到多家锻练的金刚石薄膜供应商，坎坷游配套愈加完备。

硬氪：接管干法刻蚀的微纳加工工艺的中枢上风是什么？

崔波：干法刻蚀的中枢上风是更可控。湿法刻蚀探针的体式是由硅的晶向决定的，不好调度，干法刻蚀不错字据不同的欺诈场景调度探针的激烈度等要津参数。干法刻蚀的资本原来要更高，最近这二十年干法刻蚀技艺发展得畸形快，资本也有所下落，依然不错达到替代湿法刻蚀的水平了。

硬氪：现时的客户群体是若何样的？客户响应如何？

崔波：现时咱们的客户以科研院所为主，同期也销毁部分半导体厂商。其中，集成电路制造联系的大型半导体厂商仍处于测试和考据阶段，在其他半导体领域，已完了一定例模的实质销售。

整片晶圆（图源/企业）

客户接管咱们的主要原因在于性价比上风。比较海外头部品牌，咱们的价钱低30%—40%，但在深宽比、针尖曲率半径和使用寿命等目的上，性能并不逊色，部分目的致使更优。咱们现时欠缺的等于褂讪性，但使用测试扫描图像依然没问题了。

硬氪：AFM探针完了相配比例的国产替代的难点在哪？

崔波：现时最大的挑战在于品牌开荒。好多用户测试阶段招供国产家具的性能，但在实质采购时仍倾向于长期使用的海外品牌，举例Olympus、NanoWorld等，依然酿成了使用惯性。

从技艺角度看，我并不太操心。咱们本年齿首才启动销售，当今大大量问题依然处分了，还有一些次要问题，主要聚集在良率和外不雅一致性上，这些在昔日半年内是不错沉静改善的。但品牌信任的成就，可能需要更长的时期。